光刻工艺要经历哪些工序？
来源：www.lps114.com.cn
时间：2021-08-29 13:26
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编辑：niming
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光刻工序编辑一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序
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